台式光刻机

简要描述：台式光刻机参数：1.最大曝光面积:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(胶厚≤0.5um的正胶)。3.对准精度:±1um(标准晶圆抛光片)。4.光源强度:35mW/cm2。5.曝光波长:LED光源(进口灯珠，寿命>1万小时)

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详细介绍

　　台式光刻机参数：

　　1.最大曝光面积:160mm*160mm

　　⒉.曝光分辨率:1u m(胶厚≤0.5um的正胶)

　　3.对准精度:± 1um(标准晶圆抛光片)

　　4.光源强度:35mW/cm2

　　5.曝光波长:LED光源(进口灯珠，寿命>1万小时)

　　6.曝光方式:定时(倒计时方式)

　　7.掩模样片相对运动范围:X:优于±5mm;

　　8.Y:优于±5mm;0:优于±6°

　　9.掩模尺寸:7英寸，样片规格:6英寸(晶圆片)

　　10.数字设定对准间隙和曝光间隙

　　11.掩模样片分离间隙:6 =O-500um连续可调

　　12.对准方式:自动对准，可根据客户需求，增加对准标记的类型，累计不超过4组

　　13.自动输片:机械手自动输片(专用样片机械手臂及片叉)，含预对准定位功能

　　14.显微扫描范围:Y:± 40mm(数字设定)

　　15.具备正压气浮曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能CCD+远心镜头+显示器对准，光学合像

　　16.调平接触压力通过传感器保证重复

　　17.双物镜可调距离范围:30mm-130mm

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