实验室光刻机

简要描述：实验室光刻机参数：1.曝光面积:160mm*160mm。2.曝光分辨率:接触式曝光0.8um-1um。3.对准精度:±1-1.5um。4.光源强度:35mW/cm2。5.UV光源:进口LED模块。

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详细介绍

　　实验室光刻机产品参数：

　　1.曝光面积:160mm*160mm

　　2.曝光分辨率:接触式曝光0.8um-1um

　　3.对准精度:±1-1.5um

　　4.光源强度:35mW/cm2

　　5.UV光源:进口LED模块

　　6.曝光中心波长:365nm

　　7.光源寿命:1万小时，光源平行性:≤2°

　　8.曝光分辨率:接触式曝光0.8um-1um

　　9.照度不均匀性:≤3%

　　10.曝光设定:定时

　　11.可执行曝光模式:真空接触、硬接触、压力接触、接近式

　　12.间隙设定方式:数字设定曝光间隙0-1200um

　　13.可调，可自动分离和消除间隙

　　14.样片、掩模版相对移动范围:X:±5mm，Y:±5mm,0=±6°

　　15.掩模版找平方式:球气浮自动找平

　　16.可支持掩模版尺寸:3"x3"、4"x4"、5"x5"、7"x7"各一件

　　17.标配承片台:2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

　　18.标准配件可兼容样片厚度:0.1-5mm，其他尺寸可定制

　　19.对准系统:光学+CCD,显微倍数:放大倍率:150倍-720倍可调

　　20.双物镜可调距离范围:30mm-120mm

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