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自动匀胶显影机的工作原理是什么?有哪些特点?

发布时间:2022-07-15      点击次数:222
  自动匀胶显影机是一种用于信息科学与系统科学、物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺试验仪器,接下来就给大家介绍一下它的工作原理及其特点,希望能够帮助到您!
 
  自动匀胶显影机的工作原理
 
  显影系统具有可编程阀,它可以使单注射器试剂滴胶按照蚀刻、显影和清洗应用的要求重复进行,如冲洗(通常是去离子水或溶剂),然后干燥(通常是氮气)等最后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在*干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。匀胶显影机还有可选择的动态线性或径向滴胶的特性。
 
  自动匀胶显影机的产品特点
 
  1、该设备采用先进的单片微型机程序自动控制,显影质量好工艺条件稳定可靠适应宜科研和生产单位大规模集成电路和其它半导体器件的光刻工艺中作显影之用(如:硅片匀胶后的显影)。
 
  2、该设备显影工艺采用了先进的喷雾方式,可根据工艺要求喷雾状态电机的转数,程序时间的工艺参数都可在很宽的数值范围内调整,其程序为延时吸片、显影、漂洗、干燥、延时复位。
 
  3、该设备采用喷雾显影工艺后电路图形清晰完整,特别是对较细线条电路采用此工艺可得到很高的效果。
 
  4、本设备除能实现显影工艺外亦可进行人工涂胶,工艺指标与专用涂胶效果基本相同。
 
  5、该显影机为独立台式机,操作方便。
江苏雷博科学仪器有限公司
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