简要描述:AC200衍生机(显影)全新外观设计,大气,适配实验室实验操作,先进的设计理念,模块化设计。
详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 化工,石油 |
AC200衍生机(显影)介绍:
新外观衍生机尺寸:680*550*450mm(三种机型尺寸一致)
包装用木箱包装
转速范围:20-10000rpm
加速度可调范围20-50000rpm/s
单步时长:3000s
时间分辨率:0.1s
可编辑100组100步程序,更多可扩展
AC200衍生机(显影)大体说明可参照样本上的写,配件可以放一些标准载物盘,真空泵的图片
自动滴胶:
适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
自动显影:
适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘
显影喷嘴距离基片高度可调,可调范围10-50mm
自动去边:
适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆
去边精度:去除晶圆边缘3±0.5mm
三个基本功能可添加背洗功能(供客户选择)
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