EZ4-S参数
1.转速范围:100-9999RPM,转速分辨率:1RPM
2.大单步步长3000S,旋转时间分辨率1S
3.加速度可控范围:100-9999RPM/S
4.可处理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圆晶底物
5.液晶文本显示,可提供中英文操作界面,简单易用
6.快速运行和程控运行可选,多5组5步的程控操作模式
7.100W直流无刷电机,宽电压适用:AC100-230V输入
.标配三种规格铝合金真空载物盘(直径10mm、25mm、55mm)
9.乳白色PP耐腐蚀外壳,耐腐蚀开模内腔
10.外型尺寸:210(W)*265(D)*213(H)