等离子清洗机

简要描述：等离子清洗机
1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。
2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。
5、适用性广，各种材料、形状都可以处理。

产品分类

详细介绍

品牌	LEBO science	产地类别	国产
应用领域	能源,电子,综合

设备的优点：

1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。

2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。

3、无环境污染、无化学品消耗。

4、可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。

5、适用性广，各种材料、形状都可以处理。

腔体材质铝合金

供电电源 AC220V、1000W

溅射电压：MAX 2500V

溅射电流：MAX 30mA

靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~0.5mm

电源功率 0-300W可调

射频频率 13.56MHz

真空度 ≤100Pa

气体路数 2路

气体流量 MFC气体质量流量计 500SCCM（可调）

控制触屏

清洗时间 1-6000s连续可调

处理尺寸：≤4寸

内腔尺寸 Φ147mm*145mm（直径*深）

外形尺寸 500mm*525mm*365mm（宽*深*高）

重量 ≈38KG

真空泵爱特VRD-4

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