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等离子清洗机

简要描述:等离子清洗机
1、采用射频电源、自动匹配器,一键式操控。
2、低温等离子体,能量低、密度高,适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂的材料,材料表面处理的均匀性好。
5、适用性广,各种材料、形状都可以处理。

  • 所在城市:无锡市
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2022-09-26
  • 访  问  量:52

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详细介绍

品牌LEBO/雷博产地类别国产
应用领域能源,电子,综合

设备的优点:

1、采用射频电源、自动匹配器,一键式操控。

2、低温等离子体,能量低、密度高,适合处理特殊材料。

3、无环境污染、无化学品消耗。

4、可处理形状复杂的材料,材料表面处理的均匀性好。

5、适用性广,各种材料、形状都可以处理。



腔体材质  铝合金

供电电源  AC220V、1000W

溅射电压:MAX 2500V

溅射电流:MAX 30mA

靶材尺寸:直径57mm,厚度0.1~0.5mm

电源功率  0-300W可调

射频频率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

气体路数  2路

气体流量  MFC气体质量流量计   500SCCM(可调)

控制  触屏

清洗时间  1-6000s连续可调

处理尺寸:≤4寸

内腔尺寸  Φ147mm*145mm(直径*深)

外形尺寸  500mm*525mm*365mm(宽*深*高)

重量  ≈38KG

真空泵  爱特VRD-4





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