简要描述:等离子清洗机1、采用射频电源、自动匹配器,一键式操控。2、低温等离子体,能量低、密度高,适合处理特殊材料。3、无环境污染、无化学品消耗。4、可处理形状复杂的材料,材料表面处理的均匀性好。5、适用性广,各种材料、形状都可以处理。
详细介绍
品牌 | LEBO science | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 能源,电子,综合 |
设备的优点:
1、采用射频电源、自动匹配器,一键式操控。
2、低温等离子体,能量低、密度高,适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂的材料,材料表面处理的均匀性好。
5、适用性广,各种材料、形状都可以处理。
腔体材质 铝合金
供电电源 AC220V、1000W
溅射电压:MAX 2500V
溅射电流:MAX 30mA
靶材尺寸:直径57mm,厚度0.1~0.5mm
电源功率 0-300W可调
射频频率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
气体路数 2路
气体流量 MFC气体质量流量计 500SCCM(可调)
控制 触屏
清洗时间 1-6000s连续可调
处理尺寸:≤4寸
内腔尺寸 Φ147mm*145mm(直径*深)
外形尺寸 500mm*525mm*365mm(宽*深*高)
重量 ≈38KG
真空泵 爱特VRD-4
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