等离子清洗机

简要描述：等离子清洗机
1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。
2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。
3、无环境污染、无化学品消耗。
4、可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。
5、适用性广，各种材料、形状都可以处理。

产品分类

详细介绍

品牌	LEBO/雷博	产地类别	国产
应用领域	能源,电子,综合

设备的优点：

1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。

2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。

3、无环境污染、无化学品消耗。

4、可处理形状复杂和微细结构的材料。

设备的参数：

腔体材质：铝合金

供电电源： AC220V、1000W

溅射电压：MAX 2500V

溅射电流：MAX 30mA

靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~0.5mm

射频电源功率： 0-300W可调

射频频率： 13.56MHz

真空度：≤100Pa

气体路数：2路

气体流量：MFC气体质量流量计 500SCCM（可调）

控制：触屏

清洗时间：1-6000s连续可调

处理尺寸：≤8寸

内腔尺寸：226mm（长）*126mm（高）*224mm（深）

外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（宽*深*高）

重量：≈38KG

真空泵：飞越ARV-4

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