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全封闭式桌面显影机

简要描述:全封闭式桌面显影机 主要用于半导体制造中晶片的显影工艺,性价比高,稳定性好,重复性好,对显影作业有非常理想的效果。设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。

  • 所在城市:无锡市
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2022-07-13
  • 访  问  量:111

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详细介绍

品牌LEBO/雷博产地类别国产
应用领域医疗卫生,化工,能源,电子产品尺寸550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)

产品优势

·全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。

·外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。

·内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。

·内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。

·真空压力可调,压力值实时显示。

·液体流量可调,回吸可调。


产品参数

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)

·转速分辨率:±1 RPM

·旋涂速度:20-3000rpm(空载)

·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)

·工艺时间设定: 0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec

·该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)

·单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序

·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。


设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。


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  • 地址:江苏江阴金山路201号创智产业园A座五楼南
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