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简要描述：全封闭式桌面显影机 主要用于半导体制造中晶片的显影工艺，性价比高，稳定性好，重复性好，对显影作业有非常理想的效果。设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能，并且喷嘴位置可程控移动，实现自动显影和清洗作业。
所在城市：无锡市 厂商性质：生产厂家更新日期：2024-09-23访 问 量：4327详细介绍
| 品牌 | LEBO/雷博 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,化工,能源,电子 | 产品尺寸 | 550mm (W) x600mm (D) x405mm (H) |
产品优势
·全封闭式显影，避免雾气扩散到外部，污染环境。
·外壳喷塑，耐腐蚀，易清洗。
·内腔不锈钢材质，镜面抛光处理，光滑，耐腐蚀，易清洗。
·内置真空过滤器，防止液体吸入真空泵。
·真空压力可调，压力值实时显示。
·液体流量可调，回吸可调。
产品参数
支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圆晶）
·转速分辨率：±1 RPM
·旋涂速度：20-3000rpm（空载）
·旋涂加速度：20-10,000rpm/sec（空载）
·工艺时间设定： 0-3,000sec/step，时间设置精度： 0.1sec
·该机型适用于标准3路显影机（1路显影液，1路纯水，1路氮气）
·单步工艺及多步工艺可选，内置100组可编辑程序
·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
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