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雷博科仪匀胶机助力中国量子计算机“悟空”芯片研发!

更新日期:2023-11-17      点击次数:491

前言

量子计算机被誉为新一轮科技革命得战略制高点,能够在众多关键技术领域提供超越经典计算机极限的核心计算能力。芯片是量子计算机的核心,研究表明当量子芯片比特数达到50~100时,量子计算机就有可能进行有价值的量子计算。


央视视频截图


视频截图中展示的是制造量子计算机芯片前期工作重要的一环---匀胶工艺和曝光后的显影工艺。

科研人员所用的设备(红框中)系江苏雷博科学仪器有限公司研发的AC200-SE-CTM自动匀胶机AC200-S-CTM自动显影机

匀胶机为自动摆臂与4路滴胶功能,显影机则是拥有双自动摆臂、3路显影、1路纯水、1路氮气的功能,可处理1cm至8英寸晶圆。

量子芯片工作在-270℃左右的环境中,与普通芯片有较大区别,因此量子芯片的材料、生产工艺等也与普通芯片不同,这对生产设备提出了特殊的要求。



匀胶.png                             显影.png

               自动匀胶机                                   自动显影机



产品详情

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总结

通过量子计算机整机顺利交付,可从侧面反映出雷博科仪匀胶显影设备与光刻机的工艺方面需求已经通过验证。

此次的重大突破,也体现了雷博科仪匀胶显影设备在半导体行业的适配性和专业性。



江苏雷博科学仪器有限公司
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