程控匀胶机是一种高精度的旋转涂布仪。主要用于高校、科研院所、研发中心等各类功能膜的研发,适用于半导体硅片、晶圆、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物膜、制版等工艺的表面涂装。
程控匀胶机的工作原理:
利用底片在片材夹持器上产生,待旋涂的基材吸附在片材夹上,胶液滴在基材表面上。离心力通过精确调整电机的转速来改变。同时,胶流由胶滴装置控制,从而达到制备膜所需的厚度。此外,旋涂时间、胶溶液粘度、涂层温度和湿度等环境因素也会影响薄膜厚度。
它已广泛应用于MEMS微加工、生物、材料等领域。它可以用于制备厚度小于10nm的薄膜,并且经常用于厚度约为1-100微米的光刻胶沉积层的光刻。匀胶机可以施加的膜厚度可以达到10纳米至10微米的范围,并且均匀性可以达到1%。
程控匀胶机的功能特点:
1、机身采用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀的不锈钢制成,不生锈,易于清洁。
2、采用全彩7英寸触摸屏控制面板,操作直观、简单、方便。
3、显示了实时涂层速度和时间,设置参数的过程一目了然。
4、内置计算机控制、Windows操作界面、USB接口和打印机等外部设备(可选)。
5、不锈钢室、PTFE室(可选)。
6、定制的涂层程序和涂层步骤可以随意更改。共有40个涂层程序,每个程序可设置40个步骤(可根据用户要求随意扩展)。