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匀胶机的产品特点,你了解多少?

更新日期:2024-10-17      点击次数:1022
  匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。主要用于液体,胶体的成膜性能试验,表面涂覆。
 
匀胶机
匀胶机的产品特点
 
  1、采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
 
  2、5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,多100个阶段。
 
  3、内置水平校准装置,**限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
 
  4、多重安全保护。
 
  5、电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全。
 
  6、盖子自锁功能,防止飞片盖开伤人。
 
  7、双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,限度保证实验人员安全。
 
  8、一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
 
  9、不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
 
  10、适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。
 
  匀胶机工作原理和主要构成:
 
  将各类胶液滴注于高速旋转的基片上,滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备,被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。
 
  匀胶机工作原理:
 
  匀胶机在MEMS微加工,生物,材料等领域得到了非常广泛的应用。其能够用来对厚度比10纳米还要小的薄膜进行制备,也常常在1-100微米左右厚光刻胶沉积层的光刻工艺中得到应用。
 
  半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等均能够用许多平面基底材料来涂覆。
 
  利用负在片托上产生,在片托上吸附需要旋涂的基底材料,在基底材料的表面滴注胶液,利用对电机的旋转速度的精确调节从而来使离心力大小得以改变,与此同时利用滴胶装置来对胶液的流量进行控制,从而使得制备薄膜所需的厚度达到。除此以外旋涂时间,胶液的粘度,涂覆的温度和湿度等环境因素也会对薄膜厚度产生影响。
 
  匀胶机能够涂的膜厚能够达到10纳米-10微米的范围,均匀度能够达到1%。
 
  匀胶机主要构成
 
  控制器和甩胶处理腔体两大部分通常包含于该设备内。通常预制的PLC程序段存在于控制器内,市面上常见的设备有着较大的差异。简易控制器利用简单的电控调速技术将旋转速度简单分成2-3个档位,低档用来将胶液甩开,而高dang用来均匀涂布。复杂控制器设定20个程序段来对不同材料的制备过程进行存储。
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