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浅析实验室等离子清洗机的清洗原理

发布时间:2022-04-14      点击次数:218
  实验室等离子清洗机采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵,工作时清洗腔中的等离子体柔柔冲洗被清洗物的表面,短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,其清洗程度达到分子级。
 
  实验室等离子清洗机除了具有超清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,等离子体作用于材料表面,使表面分子的化学键发生重组,形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料,在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
 
  实验室等离子清洗机的清洗原理是通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除,从而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能为有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺,根据选择的工艺气体不同,等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。
 
  1、化学清洗:表面作用以化学反应为主的等离子体清洗,氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O和CO2。氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层,清洁金属表面。
 
  2、物理清洗:表面作用以物理反应为主的等离子体清洗,在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能,然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物,同时进行表面能活化。
 
  3、物理化学清洗:表面作用中物理反应与化学反应均起重要作用。
 
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