简要分析匀胶机旋涂仪在使用时的注意事项

　　匀胶机旋涂仪操作简单，结构紧凑，占地面积小，为实验室提供了理想的解决方案。可用于实验室项目建设，除半导体外，还可用于硅片、芯片、基板、导电玻璃和制版等表面涂层工艺，用于科研和教学。
 

　　匀胶机旋涂仪使用时的注意事项：
 

　　1、使用前，主要检查设备与真空泵、氮气瓶接口是否泄漏；
 

　　2、实验过程中，依次打开设备电源开关、氮气/干气瓶阀门和真空开关。实验结束时，先关闭真空，然后关闭氮气/干气瓶的阀门；
 

　　3、氮气/干气的压力控制不宜过大。建议从0.35Mpa开始缓慢增加氮气瓶压力，直到设备控制面板上的CDA停止闪烁；
 

　　4、严禁将过多、过重的物料放置在设备的限制范围之外，否则会损坏设备的旋转控制精度；
 

　　5、如果使用大的吸附盘投掷小的样品片，会发生空气泄漏，胶水会被吸入空气提取室，导致空气路径堵塞；
 

　　6、如不慎将胶水吸入抽气室，应立即清洗，否则吸附盘、光电盘和电机轴会粘在一起，导致电机旋转，难以拆卸；
 

　　7、当气路堵塞或气泵损坏时，电机也可以运行，产生飞片。因此，在启动电机之前，必须确认气泵处于良好状态，且吸入件已被吸入；
 

　　8、在实验过程中，当设备处于闲置状态时，为了保护泵的工作性能，请关闭真空泵。建议泵的连续运行时间不应超过1小时；
 

　　9、实验结束后，请将设备内腔内的残留物擦拭干净，清空废液接收罐，用原件覆盖，并用塑料信封覆盖每个装置，避免污染。