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简要分析匀胶机旋涂仪在使用时的注意事项

发布时间:2022-09-06      点击次数:26
  匀胶机旋涂仪操作简单,结构紧凑,占地面积小,为实验室提供了理想的解决方案。可用于实验室项目建设,除半导体外,还可用于硅片、芯片、基板、导电玻璃和制版等表面涂层工艺,用于科研和教学。
 
  匀胶机旋涂仪使用时的注意事项:
 
  1、使用前,主要检查设备与真空泵、氮气瓶接口是否泄漏;
 
  2、实验过程中,依次打开设备电源开关、氮气/干气瓶阀门和真空开关。实验结束时,先关闭真空,然后关闭氮气/干气瓶的阀门;
 
  3、氮气/干气的压力控制不宜过大。建议从0.35Mpa开始缓慢增加氮气瓶压力,直到设备控制面板上的CDA停止闪烁;
 
  4、严禁将过多、过重的物料放置在设备的限制范围之外,否则会损坏设备的旋转控制精度;
 
  5、如果使用大的吸附盘投掷小的样品片,会发生空气泄漏,胶水会被吸入空气提取室,导致空气路径堵塞;
 
  6、如不慎将胶水吸入抽气室,应立即清洗,否则吸附盘、光电盘和电机轴会粘在一起,导致电机旋转,难以拆卸;
 
  7、当气路堵塞或气泵损坏时,电机也可以运行,产生飞片。因此,在启动电机之前,必须确认气泵处于良好状态,且吸入件已被吸入;
 
  8、在实验过程中,当设备处于闲置状态时,为了保护泵的工作性能,请关闭真空泵。建议泵的连续运行时间不应超过1小时;
 
  9、实验结束后,请将设备内腔内的残留物擦拭干净,清空废液接收罐,用原件覆盖,并用塑料信封覆盖每个装置,避免污染。
江苏雷博科学仪器有限公司
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