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可实现智能化編程烤胶控制的“烤胶机”

发布时间:2022-01-13      点击次数:134
  烤胶机是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品,是—种设计为精确控温、准确计时和接近式加热的高性能实验窒设备,带有真空吸附、顶针定位烤胶、线性升温等功能,可实现智能化編程烤胶控制。仪器采用高精度微处理器,温度控制更加精确。可同时显示设定温度和实际温度,外观小巧精致,更适宜通风橱使用。结构简单,可靠性高,元器件均做防腐蚀处理加热部件与元器件分离设计,更加耐用。
 
  烤胶机外壳采用不锈钢镀膜处理,耐氧化不变色。加热部件采用高温加热盘管,具有使用寿命长,加热均匀性高的特点。采用新颖的数字式加热设计,可以精准的控制表面温度;坚固耐腐蚀的硬质阳极氧化铝面板,优异的导热性可以满足多种应用场景;数字式显示器可迅速编码准确控制温度;独立的防过热电路设计,确保实验安全。
 
  烤胶机采用全彩触摸屏操作,高级PLC控制,所有运行参数如加热时间、顶升高度的选择等都可在触屏上方便设置。程控准确计时,控温精度高。全不锈钢机身,经久耐用,发热部件采用特殊的隔热设计,均匀性高、使用寿命长。可存贮多组烤胶配方,每个配方加热阶段,加热时间和顶针高度可调。热板表面还带真空吸附功能,确保基片与热板表面紧密接触式烤胶。还可提供恒温模式和线性控温模式烤胶程序,可实现温度的线性加热和降温控制。
 
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