咨询热线

13584134215

当前位置:首页  >  技术文章  >  膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度

膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度

更新日期:2021-11-25       点击次数:965
  匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
  从其原理来说,可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节:
  旋转速度
  转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,比如:美国NIST标准等。
  真空吸附系统的构造
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
  材质的选择
  对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
江苏雷博科学仪器有限公司
  • 联系人:陆燕
  • 地址:江苏江阴金山路201号创智产业园A座五楼南
  • 邮箱:lu.yan@leboscience.cn
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有©2024江苏雷博科学仪器有限公司All Rights Reserved    备案号:苏ICP备17018030号-2    sitemap.xml    总访问量:120053
管理登陆    技术支持:化工仪器网