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匀胶显影机是线性模块装备的全自动设备

发布时间:2021-10-12      点击次数:33
  匀胶显影机是线性模块装备的全自动设备,恣意两个相邻模块之间都需求一个晶片的转移机构,所以晶片的模块间精确快速传送就显得格外重要。为了完成不同模块之间晶片的平稳转移和取放,
  一个简易机械手的开发显得尤为重要。该机械手应该能完成左右旋转和上下升降两个功能,结构简略而牢靠,同时造价较低,并能完成彻底的国产化。
  新式内容本就实用于新式的目的在于提供一种匀胶显影机用机械手设备,该机械手结构简略牢靠而又合理,操作修理十分便利,且造价较低。
  实用于新式的技能计划是胶显影机用机械手设备,包含主轴、套筒、大齿轮I、大齿轮II、底板、机械手、小齿轮I、支座、小齿轮II、升降电机、旋转电机;主轴外侧设有套筒,小齿轮II由旋转电机驱动,小齿轮II与大齿轮I经过皮带传动,大齿轮I经过衔接部件与套筒固定,套筒上端与底板相连,主轴上部穿过底板,大齿轮II与主轴上部衔接,支座置于底板上,大齿轮II与主轴上部衔接,支座置于底板上,小齿轮I置于支座上,与机械手经过衔接部件衔接的小齿轮I与大齿轮II之间经过皮带传动。
  所述皮带上下能够设有张紧轮;所述支座内开有与真空管、机械手相通的通道,主轴为中空轴,需求传送的晶片置于机械手上外表,经过真空吸附设备、主轴、真空管、支座,从机械手底部将晶片吸附于机械手上外表。
  所述支座为“⊥”形,其内通道为“」”形,小齿轮I与“⊥”形支座的竖向经过轴承合作。
  实用于新式丝杠与升降电机衔接,丝杠穿过提高板,与提高板螺纹传动合作;同时,主轴、导向杆穿过提高板,形成对提高板的三点定位。
  实用于新式位置检测开关安装在提高板上,与坐落提高板右侧的极限位检测片合作完成机械手上下位的检测。
  实用于新式旋转电机和升降电机能够为同步电机。
  实用于新式的长处及有益作用是
  1  实用于新式晶片在机械手上放置的中心点总是在一条直线上运动,且移动距离可调。
  2  实用于新式机械手配有真空吸附,辅助晶片定位,保证晶片在移动中不发生偏移。
  3  实用于新式机械手的上下移动和左右旋转均由步进马达完成,靠脉冲个数的给定来完成精确的重复定位精度。
  4  实用于新式能够具有杰出的人机交互界面,对机械手进行监控。
  5  实用于新式结构简略牢靠而又合理,操作修理十分便利,且造价较低。
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