简要描述:全新外观设计,适配实验室实验操作*进的设计理念,模块化设计可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制 可实现不同功能模块的自由组合定制配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性
详细介绍
品牌 | LEBO/雷博 | 价格区间 | 面议 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 能源,电子 |
产品特点
全新外观设计,适配实验室实验操作,让实际操作更加顺手
*进的设计理念,模块化设计,参考人性化设计理念
可快速拆卸和替换原有功能模块,操作便捷
支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗等功能模块个性化定制
可实现不同功能模块的自由组合定制
配载精密的运动控制系统,提高实验精度及重复性
产品参数
转速范围:20-10000rpm
转速分辨率:±1rpm
加速度可调范围:20-50000rpm/s
单步时长:3000s
时间分辨率:0.1s
适用基片尺寸:4/6/8寸标准晶圆
去边精度:去除晶圆边缘3±0.5mm
可添加背洗功能(根据客户需求而定)
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