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简要描述：快速测量，仅需1-2s即可完成一次测量；大范围膜厚测量，可测量膜厚范围从15nm-70μm；常规操作只需点击一个按钮即可运行，操作简便；适用于工业现场，稳定可靠；能够满足膜厚的常规测量，经济实用
产品型号： 厂商性质：生产厂家更新日期：2021-06-22访 问 量：73详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,石油,能源,电子 |
FM100-SE薄膜厚度测量仪能够快速测量，仅需1-2s即可完成一次测量；大范围膜厚测量，可测量膜厚范围从15nm-70μm；常规操作只需点击一个按钮即可运行，操作简便；适用于工业现场，稳定可靠；能够满足膜厚的常规测量，经济实用
FM100-SE薄膜厚度测量仪产品参数：
快速测量：最大典型12寸晶圆（即直径300mm）
膜厚测量范围：15nm-75μm（对Si上的SiO2样品）
膜层数目：1-4层
膜厚测量重复性：0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品)
准确度：2nm或0.4%（对Si上的SiO2样品）
FM100-SE薄膜厚度测量仪能够快速测量，仅需1-2s即可完成一次测量；大范围膜厚测量，可测量膜厚范围从15nm-70μm；常规操作只需点击一个按钮即可运行，操作简便；适用于工业现场，稳定可靠；能够满足膜厚的常规测量，经济实用
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