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FM100-SE 膜厚测量仪

简要描述:快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量;大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm;常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便;适用于工业现场,稳定可靠;能够满足膜厚的常规测量,经济实用

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新日期:2021-06-22
  • 访  问  量:24

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详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,石油,能源,电子

FM100-SE薄膜厚度测量仪能够快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量;大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm;常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便;适用于工业现场,稳定可靠;能够满足膜厚的常规测量,经济实用

FM100-SE薄膜厚度测量仪产品参数:

快速测量:最大典型12寸晶圆(即直径300mm)
膜厚测量范围:15nm-75μm(对Si上的SiO2样品)
膜层数目:1-4层
膜厚测量重复性:0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品)
准确度:2nm或0.4%(对Si上的SiO2样品)

FM100-SE薄膜厚度测量仪能够快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量;大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm;常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便;适用于工业现场,稳定可靠;能够满足膜厚的常规测量,经济实用

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